真空计测量范围

压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。这是真空测量的特点，亦会造成某些问题。

任何具体物理现象与压力的关系，都是在某一压力范围内才最显著，超出这个范围，关系变得弱了。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程，是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105～10-14pa)，没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于各种真空计在原理上的差异．在相互衔接的区域，往往要造成较大的误差。

在被测空间引起一定物理现象，还会出现这样的问题，即从测量的角度出发，本需要一种单纯的物理现象，但有时却不可避免地带来一系列寄生现象，这些寄生现象不但给测量量带来误差，有时还会“喧宾夺主”，完全把主要现象掩盖住了。

由上观之，为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，抑制寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。

表1  一些真空计的压力测量范围

真空测量特点

(1)测量压力范围宽，105～lO-14Pa。

(2)大部分真空计是间接测量，只有压力为105～lOPa时，可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小，不能直接测量，应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。

(3)多采用非电量电测技术。

(4)大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分．否则会造成很大误差。

(5)测量精度不高。

选择真空计原则

(1)在要求的压力区域内有要求的精度。

(2)被测气体是否会损伤真空计；真空计可否会给被测气体状态带来影响。

(3)能测全压力吗?可校准吗?灵敏度与气体种类有关否。

(4)可否连续指示、电气指示以及反应时间长短。

(5)稳定性、复现性、可靠性和寿命如何。

(6)还要看真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格如何