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真空系统选择

日期：2021-08-23 浏览：7783 字号：A-AA+

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真空范围	真空度	工艺	真空系统
低真空	105～102Pa	真空输运洁净室打印机自动进纸真空浓缩罐真空浓缩（干燥）真空包装	干式旋片泵系统油封旋片泵系统水封泵系统柱塞泵系统 *干式真空泵系统
中真空	102～10-1Pa	真空充气装置真空干燥真空除气真空蒸馏真空热处理真空炉 *真空冷冻干燥	多级旋片泵系统罗茨泵系统柱塞泵系统扩散泵系统干式真空泵系统吸附泵系统
高真空	10-1～10-5pa	真空镀膜真空冷冻干燥真空蒸馏真空气体置换真空密封真空焊接 *离子注入	扩散泵系统涡轮分子泵系统吸附泵系统低温泵系统 *离子泵系统
超高真空	<10-5Pa	电子显微镜等离子体发生器表面研究材料分析原子核研究离子加速器 *物理学研究	涡轮分子泵系统低温泵系统吸附泵涡轮分子泵系统低温泵系统离子泵系统

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