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10kW高稳定微波功率源
日期:2021-08-25 浏览:204
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型号:GMG-210B

说明:10kW/2450MHz 高稳定微波功率源


1. GMG-210B/C型微波源概述

GMG-210B/C型高稳定程控微波源采用智能芯片控制,用户通过设置参数后,系统控制由智能芯片完成,控制精度高、稳定性好、操作简单。系统采用联锁控制方式,能有效地防止误操作,对水、温度、市电等条件异常时有完善的保障系统,确保正常、安全工作。系统还提供外接联锁控制保护接口,保护操作人员和负载安全。系统采用控制柜与功率头分离结构,方便用户连接不同类型的微波工作室(或腔体)。

GMG-210B型高稳定程控微波源,采用旋钮和按键方式操控开机、关机和微波功率设定,控制面板设有微波功率输出显示表头和微波反射功率显示表头,操作简便,系统工作状态一目了然。

GMG-210C型高稳定程控微波源采用触摸屏控制方式,为用户提供两种操控模式,即简易操作模式和用户编程操作模式。

GMG-210B/C型高稳定程控微波源适合与微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统、微波等离子镀膜系统、微波ECR系统、微波等离子源系统、微波精细陶瓷烧结系统等配套,为不同的微波反应腔体提供精确、稳定的微波功率源。


2. GMG-210B/C型 微波源系统组成及技术指标

2.1. 系统组成:为方便连接各种不同类型的波导系统,本微波源将微波功率头从控制柜中分离出来,既方便波导连接,也便于安装操作。

⑴ 微波功率头:采用微波磁控管规格型号为国产CK-2091 10kw/2450MHz±5MHz作为功率源,最大输出功率为10KW。如图2.1所示。

⑵ 控制系统:采用智能芯片编程控制,可控制微波输出功率。采用了安全保护系统,保证系统正常、安全地工作。提供负载联锁保护接口,能有效地防止误操作,保护操作人员。


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