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5kW高稳定程控微波功率源
日期:2021-08-25 浏览:226
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型号:GMG-205C

说明:5kW/2450MHz 高稳定可编程触摸屏控制微波功率源


GMG-205C型高稳定程控微波源采用智能芯片控制,用户通过设置参数后,系统控制由智能芯片完成,控制精度高、稳定性好、操作简单。系统采用联锁控制方式,能有效地防止误操作,对水、温度、市电等条件异常时有完善的保障系统,确保正常、安全工作。系统还提供外接联锁控制保护接口,保护操作人员和负载安全。系统采用控制柜与功率头分离结构,方便用户连接不同类型的微波工作室(或腔体)。

GMG-205C型高稳定程控微波源采用触摸屏控制方式,为用户提供两种操控模式,即简易操作模式和用户编程操作模式。

GMG-205C型高稳定程控微波源适合与微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统、微波等离子镀膜系统、微波ECR系统、微波等离子源系统、微波精细陶瓷烧结系统等配套,为不同的微波反应腔体提供精确、稳定的微波功率源。


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