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1kW微波等离子体火炬
日期:2021-08-25 浏览:160
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型号:1kW微波等离子体火炬

说明:微波等离子


GMPT-209 1kW微波等离子体火炬

 

一、技术特点及用途


● 系统将微波源,微波传输系统,等离子体火炬腔及控制系统等各部分有机地组合成的一套完整的设备,它具有性能先进、功能完善、结构合理,使用方便。

●  HMPT-209 微波等离子体火炬是实验室用AES 和化学处理研究的理想工具。其广泛用于SiO2、金刚石膜等材料的快速CVD合成;多种金属材料的表面改性处理;花岗岩片的表面精细加工;超微细粉的制备;材料的精细焊接和切割等等。

● 火焰温度高,形状易控制,极高的等离子体密度,在与被处理材料产生有利的化学作用后,能快速沉积SiO2,金刚石膜等多种材料

●  适应于多种气体,工作稳定,操作方便。

 

二、技术参数

 

技术参数

 工作频率

2450±50MHz

 输出功率

0.1-1kW连续可调

 功率稳定度

(在额定功率电平) 优于±1%

 输出波导接口

功率头外置带FD-26标准法兰

 输入电源

(1和2可选择配置)

1)380V±10% 50Hz,三相四线,3kVA

2)220V±10% 50Hz,单相,2kVA(开关电源)

 冷却水流量

3 L/min

 系统驻波系数

VSWR ≤ 1.5

 微波泄漏

符合国际标准

 工作气压范围:        

100 Torr 至大气压    

 气 体

2路气体(适合于多种气体)


系统包括:

1、1kW程控微波源、功率头;(也可配1kW开关电源)

2、波导传输系统:BJ-26环行器、BJ-26水负载、BJ-26电动销钉、BJ-26短路活塞、BJ-26火炬腔;


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