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2450MHz程控微波功率源系列
日期:2021-08-25 浏览:122
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型号:2450MHz程控微波功率源系列

说明:微波功率源


2450MHz 程控微波功率源

 

技术特点 

●    该系列微波源可提供:1KW,1.5KW,2KW,3KW,5KW,10KW,六种型号的产品,都采用大功率水冷磁控管,性能先进,工作可靠。1KW可采用开关电源。 

●    系统控制采用单片机与调整管和辅助线圈组成的自控设计方案,同时运用灯丝降压线路,实现微波输出功率低波纹,连续可调,它具有稳定性高,寿命长,保护措施完善,操作简单等特点。 

●    系统提供手动和编程两种控制方式,并使用数码显示器分别显示输出功率,反射功率和工作时间。 

●    本产品广泛地用与CVD金刚石和类金刚石膜、微波等离子体刻蚀、陶瓷烧结、ECR离子源以及其它系统中所需的微波源。 

●    系统可根据要求自行选配环行器、电动销钉调配器、水负载、定向耦合器等匹配组件。

 

技 术 指 标

型号

GMG-2010

GMG-2020

GMG-2030

GMG-2050

GMG-2100

工作频率

2450MHz±15MHz

输出功率

0.1~1kw

0.2~2kw

0.3~3kw

0.5~5kw

1~10kw

功率稳定度

±1%(满功率时)

功 耗

2kw

3kw

4.5kw

8kw

15kw

电源

308VAC±5%/50MHz三相四线

冷 却 水

3L/min

3L/min

4L/min

4L/min

6L/min

输出波导

BJ-26/FD-26法兰

BJ-22/FD-22法兰

磁控管功率头

外置

内置

微波泄漏

符合国家标准


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