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氦质谱检漏仪 GGH-11
日期:2021-08-24 浏览:162
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型号:GGH-11

说明:GGH-11氦质谱检漏仪最小可检漏率:1×10-11Pa•m3/s,漏率显示范围: 1×10-4~1×10-11Pa•m3/s ...


GGH-11型氦质谱检漏仪指标


一、检漏仪技术参数

1.最小可检漏率:1×10-11Pa·m3/s

2.漏率显示范围: 1×10-4~1×10-11Pa·m3/s 

3.启动时间: ≤5min

4.响应时间:≤1S 

5.检漏口最高压力: 1000Pa 

6.检漏口对氦抽速: 1.5l/s

7.重量:75kg

8.工作环境: 温度:12 oC至40 oC, 相对湿度≤80%


二、检漏仪所配置的分子泵的技术参数


抽速L/S50L/S
抽气时间(14L容积)80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar);
155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar)
压缩比N2/He/H25×108/8×104/7×103
涡轮泵转速36.000 RPM
启动时间<60S
安装位置任意
运行温度5°C – 50°C
推荐前级泵DS42   DS302
入口法兰直径KF40
前级法兰直径KF16
重量16.7Kg


三、检漏仪所配置的机械泵的技术参数


抽气量50HZ:4L/S
抽速50HZ:3L/S
极限分压强10-4mbar
极限总压强2×10-3mbar
带气振阀的极限总压强1×10-3mbar
水蒸气压强30mbar
水蒸气容量350g/h
油体积 最小/最大0.25/0.6
发动机功率0.75kw
转速 50HZ rpm1500
重量25Kg
进气口法兰25KF DN
排气口法兰25KF DN


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